微电子制造技术实验教程
图书信息
书名：微电子制造技术实验教程作者：王姝娅,戴丽萍,钟志亲
包装：平装
开本：32
出版社：科学出版社
出版时间：2015-07-01
图书简介
《微电子制造技术实验教程》是一本适用于微电子相关专业教师、研究生、本科生和专科生的实验教程，可作为高等院校微电子及相关专业的实验教材，也可作为教师和微电子制造工程技术人员的参考资料。本书共28个实验项目，各实验相互独立，涵盖清洗、氧化、扩散、离子注入、光刻、刻蚀、沉积等微电子器件制造过程中必要的基础知识和实验方法。除此之外，本书还介绍了微电子器件制造过程中的物理性能测试实验和电学性能测试实验，并通过综合实验项目将各个制造过程串联起来进行实践。
推荐理由
《微电子制造技术实验教程》是一本实用性强的教材，涵盖了微电子器件制造过程中必须掌握的基础知识和实验方法。本书严谨细致，内容丰富，适合微电子相关专业的师生参考。同时，本书的实验项目相互独立，可根据实际实验条件进行选用，具有较高的实用性和灵活性。推荐给微电子相关专业的师生和工程技术人员。